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想知道!揭秘:真空泵怎样抽取真空?

浏览:857 提问时间:2023-04-23 11:40:35

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真空泵的工作原理可分为两种类型:气体捕集泵和气体传输泵,常见的真空泵抽取技术可分为机械法和物理法。

一、机械法

1、变容真空泵利用泵腔体积的周期性变化来完成吸排气,达到吸排气的目的。该泵分为往复式和旋转式两种。

2、动量传输泵依靠高速旋转叶片或高速射流将动量传输给气体或气体分子,使气体连续从泵入口传输到出口。分子真空泵水蒸汽喷射泵和扩散泵属于这一类。

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二、物理法

气体捕集真空泵是一种吸附或凝结在泵内表面的真空泵,具有以下形式:

1、吸附泵。一种捕集式真空泵,依靠具有大表面积吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用进行抽气。

2、吸气泵。它是一种用吸气剂化工捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜的形式存在的金属或合金。

3、吸气剂离子泵。通过电场或电磁力场的作用,将电离气体吸附在吸气材料表面,以达到抽气的目的。它有以下两种形式。

a、蒸发离子泵:泵内的电离气体吸附在泵内壁的吸气材料上,以间歇或连续的方式升华(或蒸发),以实现真空泵的抽气。

b、溅射离子泵:一种真空泵,被电离气体吸附在阴极连续溅出的吸气材料上,以达到抽气的目的。

SZ真空泵碳片主要用于真空泵型号

回答时间:2023-04-23
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